東莞真空泵修理爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)開展而研制的，它有如下一些特點：
　　1、與被抽氣體觸摸的表面防腐蝕耐磨損。
　　2、泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)作。
　　3、抽氣原件為非觸摸式的可實現(xiàn)高速工作（3000r/min）。
　　4、電氣監(jiān)控與操作，主要有電源，遠距離操作和開關(guān)閥等的操控。
　　5、齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤滑。
　　6、在泵腔內(nèi)氣流垂直運動，少數(shù)的顆粒物和液體等在重力效果下易于掃除。
　　7、該泵型式多樣，功能能夠擴展，泵的主體，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設(shè)備，附件有進口處防反流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報警裝置。
　　8、進口防返流閥能將被抽容器與泵腔間隔，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來，將泵通以凈化氣體，這些閥可主動開關(guān)，真空體系有可靠的維護，杜絕了向真空室的返流。
　　9、第二、三、四級均有凈化氣體進口，以改善被抽介質(zhì)順利經(jīng)過泵腔，無此需要的能夠不用通凈化氣體，凈化氣體用三個流量計別離調(diào)理，相互都是獨立的，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個電磁閥可微調(diào)其流量。
　　當(dāng)泵出現(xiàn)毛病時泵能主動泊車，兩個閥門一齊封閉或截流閥封閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以滿足監(jiān)控過程的需要。
　　動力電源、繼電器用以對馬達的接通與斷開及馬達超負荷的維護。操作過程有顯示器，有按鈕操控，可操控馬達、防返流閥的操控閥和截流閥的操控閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的閥門等。
　　毛病的監(jiān)控報警或泊車，體系安全主動操控，也可按鈕操控。啟動時，打開凈化氣體，泵正常運轉(zhuǎn)3min，凈化氣體向各段涌入，通凈化氣體對泵性能有些影響。
　　每當(dāng)遇到緊急情況可按主動泊車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通，封閉進口防返流閥，各級泵凈化1min，凈化完畢，馬達再泊車，封閉惰性氣體截止閥。