現(xiàn)階段，真空泵領域應用的大部分機械設備真空泵全是用愛發(fā)科真空泵油、水或其他高聚物等液體當做泵的工作中介質，在泵內起制冷、密封性、潤化等各種功效。
伴隨著科技的發(fā)展趨勢及其真空泵主要用途的擴張，原來的機械設備真空泵以及構成的抽真空系統(tǒng)軟件發(fā)生了迫切問題：一是泵的工作中介質反流環(huán)境污染被抽器皿；次之，因為一些工藝全過程中的反映成分使真空泵內的介質比較嚴重霉變，使泵無法正常的工作中。

針對一般的無油超濾裝置愛發(fā)科真空泵油而言，盡管可以用骨架密封式真空泵再加上冷阱或吸咐阱這類配件來避免反流，但不可以解決問題，并且使系統(tǒng)軟件看起來繁雜。而應用適度形式的干試機械設備真空泵，則可以實現(xiàn)夢想的應用實際效果。
愛發(fā)科真空泵油的運用是普遍的，關鍵有下面一些層面：
低電壓化學氣相沉積中的多晶硅制取工藝中；
半導體材料離子注入工藝。在許多生產制造工藝中通常使用或轉化成腐蝕汽體和碾磨微粒；
除半導體材料工藝外的一些造成微粒的工藝，不期待微粒滲入油閥中，而期待微粒排出來泵外，則用一定形式的干試機械設備真空泵可以符合要求；
在化工、醫(yī)藥業(yè)、食品產業(yè)中的水蒸氣蒸餾、干躁、除泡、包裝等，要避免有機溶液導致環(huán)境污染，合適用干試真空泵；
愛發(fā)科真空泵油用作一般無油清理超濾裝置的前面泵，以避免油環(huán)境污染。
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