1.真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝流程和環(huán)境有影響嗎？如果工藝不允許，應(yīng)選擇無振動泵或采取防振措施。

2.了解泵送氣體的成分，氣體中是否含有可凝蒸汽、顆粒粉塵、腐蝕性等。選擇真空泵時，需要了解氣體成分，為泵送的氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應(yīng)考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器和除塵器。

3.在其工作壓力下，真空泵應(yīng)能排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。

4.正確組合真空泵。由于真空泵的選擇性泵送，有時一臺泵無法滿足泵送要求，需要幾臺泵組合起來，相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。

比如鈦升華泵對氫氣有很高的抽速，但不能抽氦氣，而三極濺射離子泵(或兩極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來，真空裝置將獲得更好的真空度。

另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有些真空泵出口壓力低于大氣壓，所以需要前級泵，所以需要所有泵組合使用。

5.真空設(shè)備對油污的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格無油，則應(yīng)選用各種無油泵，如水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選用油泵，以及一些防油污措施，如加裝冷阱、擋板、集油器等。，也能滿足潔凈真空的要求。

6.正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個泵都有一定的工作壓力范圍。所以泵的工作點(diǎn)要選在這個范圍內(nèi)，不能長時間在25~30mmHg下工作。

7.真空泵排出的油氣如何影響環(huán)境？如果不允許污染環(huán)境，可以選擇無油真空泵，或者將油蒸氣排到室外。

8.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足極端真空和真空設(shè)備工作壓力的要求。例如，真空干燥過程需要10mmHg的工作真空，真空泵的選定極限真空應(yīng)該至少為2mmHg，優(yōu)選高達(dá)1mmHg。通常，泵的極限真空度選擇為比真空設(shè)備的工作真空度高半個到一個數(shù)量級。

9.真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。